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Caractérisation

publié le , mis à jour le

Nous disposons dans la salle d’un MEB, d’un profilomètre mécanique ainsi que de 2 microscopes optiques

- MEB-FEG [1] - Zeiss Merlin Compact

Zeiss Merlin Compact
© Zeiss

Notre Microscope Electronique à Balayage équipé d’un canon à effet de champ nous permet d’inspecter nos échantillons rapidement et précisément tout au long des procédés de fabrication.

Spécifications techniques :

Tension d’Accélération
0.1 - 30kV
Courant de sonde
5pA à 100nA
Détecteurs
In-lens SE
Everhart Thornley SE
Résolution
1-2nm à 10kV




- Profilomètre mécanique - Dektak 150

© CNRS Photothèque / Cyril Frésillon

Cet équipement est utilisé pour :
> Mesure de marche (profil)
> Mesure de stress
> Mesure de rugosité
> Mappage 3D

Dans le tableau suivant, vous trouverez les résolutions pour la mesure de marches :

Stylet 2.5µm
Résolution à 3mg
Echelle verticale
 2-3nm
6.5µm
4nm
65.5 µm
5nm
524µm
10nm
1 mm

Stylet disponible : 2.5µm et 12.5µm (rayon de courbure de la pointe)
Force utilisable : 0.03mg à 15mg (en fonction des matériaux scannés)



- Microscopes optiques - Nikon LV100 et LV150

Microscope optique Nikon LV150
© CNRS Photothèque / Cyril Frésillon


> Microscopes optiques avec 4 objectifs (x5, x20, x50, x150)
> Illumination sur fond clair/fond noir


Le laboratoire possède également une plateforme microscope électronique détaillée ici.


[1(Microscope Electronique à Balayage -canon à effet de champ )